Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9274980 à vendre en France

ID: 9274980
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
(2) Coater / (5) Developer system, 12" CANON FPA 5500 iZa included 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON (TEL/TOKYO ELECTRON) est un équipement de photorésistance de pointe spécialement conçu pour générer des caractéristiques et des motifs à très haute résolution dans une variété d'applications. Le système se compose d'un chemin optique complexe ainsi que d'une unité de lithographie de pointe et d'une conception de filature avancée. L'unité TEL Metrous a été conçue pour créer des caractéristiques à très haute résolution, terme souvent appelé ratio d'aspect élevé. Ceci est fait par l'utilisation simultanée d'un laser focalisé et d'un large faisceau d'électrons uniforme pour rendre un motif avec une très grande précision et à des vitesses plus élevées que les systèmes de photorésistance classiques. TOKYO ELECTRON Les éléments de construction uniques de la machine de la Tokyo Electron permettent à l'utilisateur de personnaliser l'outil sur une base de projet, en veillant à ce que le produit final soit de la plus haute précision. L'actif d'Éminus est le mieux adapté aux caractéristiques à haut rapport d'aspect et est capable de produire des caractéristiques jusqu "à 20 nanomètres. Il est également capable de supporter d'autres motifs de caractéristiques, tels que les nanopillars, les nano-cavités et les systèmes micro-électromécaniques (MEMS). Le modèle est fiable et stable, avec une répétabilité et des capacités de contrôle des processus. La gamme de supports de substrats de TEL/TOKYO ELECTRON (TEL/TOKYO ELECTRON) comprend des plaquettes de silicium, du verre, du polymère et du produit d'alumine. Le système expose rapidement les substrats à l'aide d'un large éventail d'outils de pointe, y compris un scanner à grande vitesse, des modules optiques et des outils de calcul avancés. L'unité comprend un transport vertical à grande vitesse pour suivre les temps de cycle de processus. En outre, la machine dispose d'outils de gestion de projet précis qui permettent aux utilisateurs de contrôler à distance le traitement des substrats, l'automatisation des programmes et offrent une variété d'améliorations d'outils et de programmes de contrôle des processus. Cet actif avancé utilise une taille de photomasque plus faible pour produire des caractéristiques plus petites que le modèle de photorésist classique équivalent. La taille du masque peut être réduite grâce à l'optique avancée présente dans l'équipement. En tant que système de photorésistance avancé, l'unité TEL Metrous est un choix idéal pour des structures complexes, nanofabriquées avec des rapports d'aspect extrêmement élevés et de petites tailles de fonctionnalités. La machine est fiable et offre un excellent contrôle sur les processus de substrat, ce qui la rend idéale pour une large gamme d'applications, de la science médicale à l'électronique en passant par l'industrie automobile. L'outil comprend une variété de fonctionnalités sophistiquées, ce qui en fait l'un des systèmes photorésist les plus avancés sur le marché.
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