Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9296645 à vendre en France
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ID: 9296645
Coater / Developer system
Career station block
Process block
Coat process station
Develop process station
Plate process station
Interface block.
TEL/TOKYO ELECTRON (TEL/TOKYO ELECTRON) est un équipement de photorésistance performant qui permet des procédés de photolithographie utilisés dans la production de microcircuiterie à semi-conducteur. Le système est conçu pour assurer un dépôt propre de résine photosensible sur le substrat, ce qui permet une gravure précise de la conception de circuit souhaitée. Il est également en mesure de minimiser toute contamination au cours du processus grâce à l'utilisation de bains chimiques de rinçage au solvant et de brosses à alcool isopropylique. L'unité est composée de plusieurs composants, dont un laser excimère, un support de substrat, une machine de revêtement photosensible et un masque d'ombre. Le laser excimère est utilisé pour créer des impulsions de lumière ultraviolette qui sont transmises à travers le masque d'ombre (qui contient la conception du circuit) à la surface du substrat. L'intensité lumineuse est réglable pour permettre une résolution précise de la conception du circuit. Le support de substrat est utilisé pour maintenir une surface de substrat de niveau constant, permettant un revêtement précis. L'outil de revêtement de résine photosensible est utilisé pour déposer uniformément la résine photosensible sur le substrat. La résistance réagit lorsqu'elle est exposée à la lumière ultraviolette, devenant insoluble. Ceci permet de modeler les fonctionnalités de circuit désirées. La brosse à alcool isopropylique est utilisée pour nettoyer la surface du substrat pour éliminer tout photorésist insoluble en excès, ainsi que toute particule contaminante. Pour assurer encore la propreté, l'actif est équipé de bains chimiques de rinçage au solvant, assurant un dernier rinçage avant le transfert du substrat vers sa prochaine phase de production. Tous ces composants combinés en font un modèle photorésist efficace, capable de produire des microcircuits à haute résolution. C'est un outil inestimable dans la production de dispositifs microélectroniques avancés.
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