Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9315797 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON est un équipement de photorésistance pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est basé sur une suite d'éléments de lithographie très avancés, y compris un module d'exposition à LED, un module « obturateur », un générateur de motifs de dispositifs à cristaux liquides, un ensemble optique et un système de manutention de plaquettes. Ensemble, ces composants permettent une délivrance fiable et cohérente de photorésist pendant le processus de lithographie. Le module d'exposition à LED utilise un éclairage ultra-violet afin d'exposer la résine photosensible à la surface d'une plaquette. Ce module est capable de produire des images de haute qualité avec un temps d'exposition très court. En plus de cela, il a un contrôle précis de l'intensité lumineuse, permettant de modeler en détail la résine photosensible même à des dimensions plus petites. Le module d'obturation est utilisé pour l'alignement précis des plaquettes et le contrôle de l'exposition. Il est équipé d'une unité motorisée qui lui permet d'ajuster sa position afin de bloquer certaines zones d'exposition lors du traitement. Cela garantit que les caractéristiques indésirables ne sont pas imprimées sur la plaquette pendant le processus d'exposition. Le générateur de motifs de dispositifs à cristaux liquides est utilisé pour la photorésistance complexe. Il fonctionne en combinant une carte haute résolution spatiale (5 μ m) avec un dispositif à cristaux liquides haute vitesse (kHz). Cette combinaison permet un contrôle précis de l'homogénéité du motif, ce qui assure qu'il n'y a pas de motifs qui apparaissent de façon inégale sur la plaquette. L'ensemble optique de TEL Metrous est composé de lentilles et de planches de haute qualité qui garantissent une très grande intensité lumineuse et une large gamme de longueurs d'onde. Combiné avec le module d'exposition à LED, cela fournit une exposition très lisse et même photorésist sur la surface de la plaquette. Enfin, la machine de manutention des plaquettes pour cet outil assure le maintien des plaquettes pendant le processus d'exposition. Cet actif est équipé d'un champ magnétique contrôlé avec des étages de mouvement xyz qui peuvent être utilisés pour l'alignement et le positionnement précis des plaquettes. Ceci est important car tout mouvement de la plaquette au cours du processus de lithographie affecterait les motifs et entraînerait des écarts de performance. En conclusion, TOKYO ELECTRON Isemblus est un modèle de photorésist très avancé qui est composé d'une suite de composants très avancés qui permettent une exposition fiable et cohérente de photorésist sur des surfaces de plaquettes. La précision et le détail de l'ébauche qu'il est capable de réaliser conviennent même pour les tâches de fabrication des semi-conducteurs les plus complexes.