Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9355511 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON est un équipement de haute performance pour la photolithographie de précision. Il est utilisé pour créer des structures ultra-fines sur des surfaces de plaquettes pour la création de composants semi-conducteurs. Le système utilise un processus d'exposition au laser sur six axes et utilise des sources de lumière UV à plusieurs longueurs d'onde pour une exposition optique précise. TEL Metrous se compose d'une unité de revêtement de résiste sur table et d'une unité d'exposition au laser. L'unité résiste-revêtement fournit une variété de méthodes de revêtement et de poids de revêtement pour s'assurer que les couches de photorésist sont uniformes et cohérentes. La photorésist utilisée dans cette machine peut varier d'une photorésist positive à une photorésist négative et comprend également des revêtements anti-réfléchissants et résistants à la gravure. Le processus d'exposition au laser est généré par une série de lentilles et de miroirs ainsi que par un dispositif d'imagerie à forte intensité. Le procédé d'exposition au laser utilise une combinaison unique d'optique linéaire et de technologies d'alignement pour permettre une plus grande précision et répétabilité. Une technologie d'imagerie à structure variable est également disponible, qui permet l'imagerie à différentes hauteurs sur le substrat afin de créer un effet 3D. L'outil d'exposition peut également être configuré avec des optiques à plusieurs longueurs d'onde pour accueillir une grande variété de matériaux de résines photosensibles. TOKYO ELECTRON (TOKYO ELECTRON) est compatible avec une multitude de systèmes d'imagerie existants, ainsi qu'avec les équipements actuels et futurs. Il offre également une grande flexibilité d'actifs pour accueillir plusieurs tailles de plaquettes et substrats. En outre, le modèle est soutenu par un réseau de service à la clientèle robuste et le service à l'usine. D'une manière générale, la fabrication de structures semi-conductrices de pointe est idéale. Son interface conviviale, ses étages linéaires réglables, ses systèmes d'imagerie puissants et son optique multi-longueurs d'onde en font un équipement idéal pour les processus de lithographie de précision. Le système peut facilement répondre aux exigences pour le développement et la production de divers dispositifs.
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