Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9355521 à vendre en France

ID: 9355521
Taille de la plaquette: 12"
Coater / Developer system, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON est un équipement de photorésistance conçu pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. La photorésist est un matériau sensible à la lumière appliqué sur une surface pour graver ou développer des motifs et des structures dans le substrat. TEL Metrous est conçu pour fournir un traitement de substrat précis avec un minimum de contamination pour les processus critiques. Le cœur du système est une source lumineuse exclusive qui produit une ligne collimatée et uniforme de lumière ultraviolette profonde (DUV) avec une intensité élevée. Cette source lumineuse est utilisée pour exposer directement la couche de résine photosensible avec une énergie optique contrôlée. La mise en forme du substrat se fait alors dans un environnement en boucle fermée qui assure une précision et des variations minimes. TOKYO ELECTRON (TOKYO ELECTRON) comprend également une unité automatique de compensation de température qui régule les températures du substrat pour optimiser les paramètres du processus. La machine est modulaire, permettant à l'utilisateur de personnaliser l'outil pour répondre à chaque application spécifique. Il est livré avec une variété de modules qui sont adaptés au traitement de différents types de substrats. Ces modules comprennent un mandrin à vide, une filière, une piste et un scanner. Le mandrin sous vide sert de plate-forme pour le transfert et l'étanchéité du substrat. Le module spinner est utilisé pour faire tourner le substrat lorsque la source lumineuse illumine la résine photosensible selon un schéma à 360 degrés. Le module de piste est utilisé pour déplacer le substrat dans le motif voulu. Il suit la position de la source lumineuse et du substrat afin de déplacer le substrat avec précision. Le module scanner peut être utilisé pour traiter de grands substrats pour générer des motifs extrêmement petits. Le logiciel automatisé d'Opus permet aux utilisateurs de programmer facilement des paramètres spécifiques. Il utilise des algorithmes d'intelligence artificielle pour suggérer des paramètres optimisés pour un traitement plus rapide. L'actif comprend également une fonctionnalité « Enseigner et répéter » qui permet aux utilisateurs de programmer rapidement des modèles complexes. Toutes ces caractéristiques font de TEL/TOKYO ELECTRON le modèle D-US un outil puissant et fiable pour la création de substrats complexes et précis. Sa conception robuste et ses modules polyvalents le rendent bien adapté à diverses applications, du traitement des semi-conducteurs aux applications médicales.
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