Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9362296 à vendre en France
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ID: 9362296
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Coater / Developer system, 12"
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON est un équipement de photorésistance utilisé pour le développement de circuits intégrés (IC), de transistors à couches minces (TFT) et de systèmes microélectromécaniques (MEMS). Le système utilise une combinaison de techniques de photolithographie, de gravure et de revêtement pour créer des motifs complexes sur des plaquettes de silicium, qui sont ensuite utilisés pour produire des dispositifs complexes IC, TFT et MEMS. L'unité TEL Metrous commence par une plaquette démasquée, sur laquelle est appliquée la résine photosensible. Photoresist est un matériau sensible à la lumière qui est utilisé pour créer des motifs lithographiques sur la plaquette. Une source lumineuse, telle qu'un projecteur sans masque ou un outil d'impression par contact, est alors utilisée pour exposer des zones de la plaquette à des motifs lumineux ou à des images. Une fois l'exposition terminée, la plaquette est ensuite chauffée dans un four post-exposition, ce qui durcit la zone exposée de la résine photosensible. La partie non exposée de la résine photosensible est ensuite éliminée à l'aide d'un révélateur chimique ou hydrique. Ceci laisse un motif de photorésist exposé qui peut être utilisé pour le traitement ultérieur. L'étape suivante est la gravure, dans laquelle le motif exposé est transféré au substrat sous-jacent à l'aide d'un plasma, d'un broyeur à ions, d'un graveur à ions réactif (RIE) ou d'une autre technique. Cette étape de gravure élimine les impuretés et la résine photosensible modelée de la plaquette, créant de minuscules caractéristiques sur le substrat. Enfin, la plaquette structurée est revêtue d'un mince film métallique ou autre matériau utilisant le dépôt physique en phase vapeur (PVD) ou le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Cette couche protège la plaquette sous-jacente tout en ajoutant des propriétés électriques ou mécaniques, telles que la conductivité électrique ou l'aptitude à la flexion, au dispositif. TOKYO ELECTRON La machine à sous est un outil important pour la production d'IC, de TFT et de MEMS modernes en raison de sa capacité à créer des motifs complexes sur la plaquette avec une grande précision. Les masques disponibles, les sources lumineuses et les gravures chimiques permettent à l'outil de produire des structures 3D très précises avec des tailles de caractéristiques atteignant la résolution au niveau du nanomètre. Cet atout est l'un des outils essentiels pour créer la prochaine génération d'électronique et de microsystèmes.
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