Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9397192 à vendre en France
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ID: 9397192
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
System, 12"
Material / Chemical:
Operating system: LINUX / Windows
SMIF
Hard Disk Drive (HDD) missing
Process: HT-PYRO (1250C)
Safety: TEL Standard
Layout type: U/Box
Tool direction: LL
Front furnace body: Coating (FDP Standard)
Heater [Range of temperature]: High VMU-40-007EXT(41) [850-1250°C]
Process:
Pressure: ATM
Temperature: 1250°C
Wafer / Cassette transport:
SEMI Standard - Notch, 12"
T/S Wafer jump out detection
Fork type / Material: 1+4 / Al203
Wafer In / Out order: ED -> P -> M / M -> P -> ED
Cassette:
Miraial (MK-823S-H)
Slot: 26
Stocker: 21
Monitor cassette:
In P1, P2, M / Out P1, P2, M
Fork :
Wafer detection
Wafer displacement detection
Pitch conversion
Hardware composition:
Load module:
(4) TEL / SEMES Standard load ports
(1) TEL / SEMES Standard loader arms
Transfer module (platform):
(5) TEL / SEMES Standard transfer robot arms
Process module:
TEL / SEMES Chamber process module specification
(17) Pumps
RF Generator
Gas box
PC
Utility:
Distribution panel
THC
Chiller
(2) Chemical boxes
ETC
Parts and tool
Module:
(4) PM1 Soft bakes
(5) PM2 PEB
(5) PM3 Hard bakes
(3) PM4 ADH
(5) PM5 COT
(5) PM6 DEV
(1) PM7 WEE
(1) PM8
(1) PM9
Litho tool:
Lens
Laser
Light source
Alignment
Power
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON est un équipement photorésistant de pointe utilisé dans la fabrication et la production de semi-conducteurs et d'autres composants liés à l'électronique. La photorésist est un polymère sensible à la lumière utilisé dans divers procédés de microfabrication et de photolithographie. Ce système se compose de quatre composants principaux : l'imageur LCD (Liquid Crystal Display), un aligneur, un outil pas à pas et une piste. L'imageur LCD utilise une optique avancée pour générer un masque d'image de haute précision. Les données d'image générées, appelées mise en page, sont programmées dans l'écran LCD. L'agencement est alors projeté sur la plaquette revêtue de photorésist et le processus lithographique commence. Pour garantir une précision de pointage, l'imageur LCD a été testé à 8x grossissement et a un taux de précision d'alignement supérieur à 1 micron, ce qui est important dans la production de composants précis. L'aligneur sert à positionner précisément la plaquette revêtue de photorésist sur l'outil pas à pas. Ceci est réalisé avec une machine de vision et un gestionnaire de plaquettes, qui sont tous deux capables de déplacer la plaquette de façon rapide et précise dans une séquence d'étapes prédéterminées. L'aligneur utilise également un outil de pulvérisation d'électrodes locales (LEA) pour minimiser la perturbation des motifs lors de l'alignement des plaquettes revêtues de photorésist. L'outil stepper est le cœur de l'actif. Il se compose d'une tête de pas avancée avec une base motorisée, un étage de précision et un microscope haute résolution. La tête d'étape est chargée de contrôler l'éclairage et d'alimenter l'outil d'étape, tandis que la base permet un déplacement sûr et précis de la plaquette. Le microscope permet le positionnement et l'alignement de la plaquette revêtue de photorésist et est capable d'imager des caractéristiques aussi petites qu'un dixième de micron de taille. Le dernier composant du modèle TOKYO ELECTRON D est l "équipement de piste. Ceci est responsable de la distribution des produits chimiques utilisés pendant le processus photolithographique. La piste est un système de plate-forme qui distribue des produits chimiques, tels que le développement et la photorésistance, à des postes de travail appropriés dans une séquence précise et ordonnée. Cela permet d'assurer l'uniformité et la précision du processus de production. En résumé, l'unité D est une machine photorésistante de pointe utilisée dans la production de semi-conducteurs et d'autres composants liés à l'électronique. Son imageur LCD fournit un positionnement et un alignement précis de l'image, tandis que l'alignement facilite le positionnement précis de la plaquette photorésistante. L'outil pas à pas assure une imagerie et un contrôle précis, et l'outil de piste distribue les produits chimiques de manière ordonnée et uniforme. Ensemble, ces composants assurent une production correcte et efficace des composants revêtus de résine photosensible.
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