Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9397193 à vendre en France
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ID: 9397193
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2012
System, 12"
Material / Chemical:
PR, HMDS, Thinner, DEV
ArF Sub-process
Operating system: LINUX / Windows
SMIF
Hardware composition:
Load module:
(4) TEL Lithius load ports
(1) TEL Lithius loader arm
(5) TEL Lithius transfer robot arms
Process module:
Chamber
Pump
RF Generator
Gas box
PC
Utility:
Distribution panel
THC
Chiller
Chemical box
ETC
Parts and tool
Module:
(8) PM1 Soft bakes
(4) PM2 ARC bakes
(8) PM3 PEB
(3) PM4 Hard bakes
(3) PM5 ADH
(5) PM6 COT
(5) PM7 DEV
(1) PM8 WEE
PM9
Litho tool:
Lens
Laser
Light source
Alignment
Power
Process: HT-PYRO (1250C)
Safety: TEL Standard
Layout type: U/Box
Tool direction: LL
Front furnace body: Coating (FDP Standard)
Heater (Range of temperature): High VMU-40-007EXT(41) [850-1250°C]
Process:
Pressure: ATM
Temperature: 1250°C
Wafer / Cassette transport:
SEMI Standard - Notch, 12"
T/S Wafer jump out detection
Fork type / Material: 1+4 / Al203
Wafer In / Out order: ED -> P -> M / M -> P -> ED
Cassette:
Miraial (MK-823S-H)
Slot: 26
Stocker: 21
Monitor cassette:
In P1, P2, M / Out P1, P2, M
Fork :
Wafer detection
Wafer displacement detection
Pitch conversion
Missing parts:
S/V ADH256 Chamber coat error
DEV303 AOV Bath rinse
DEV303 AOV Firm rinse
IRAS R-Axis driver
Port clamp cylinder
COT201, COT203 Spin chuck
LHP Temperature board
Mapping arm assembly
WEE Fan
L-Arm Z-motor
IRAS Z-Driver
IRAS Y-Driver
IRAS X-Driver
IRAS X-motor
UPS Battery swap
Control power supply swap
EC Controller swap
CRA Cover, ITL Switch
Ejector
Y-Driver
X5 Cable
DEV 301 Spain I/O Board
(2) Borads, COT MTR
4-Ports assembly
Hard Disk Drive (HDD)
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON est un équipement de photorésistance qui est utilisé dans une variété de procédés de fabrication. Des systèmes photorésistants sont utilisés pour préparer et traiter un substrat pour des étapes ultérieures de traitement ou de fabrication. TEL Metrous est un système photorésist de nouvelle génération fabriqué par TEL, un fournisseur de solutions technologiques. L'unité permet aux clients de développer un processus de résistance en quelques étapes. Il peut fournir un contrôle précis des motifs, tout en améliorant la résolution et la profondeur de focalisation en microlithographie haute résolution. La machine peut augmenter le débit et améliorer les rendements dans divers processus de photolithographie. TOKYO ELECTRON est capable de réaliser des techniques de lithographie avancées, telles que l'imagerie à couches minces, la lithographie à ultraviolets profonds et la lithographie à faisceaux atomiques. Il supporte également la photopatterning, une technique où un seul masque est utilisé pour modeler des motifs à haute résolution sur une seule plaquette. L'outil utilise plusieurs technologies de pointe, dont une source de faisceau d'électrons, des lentilles d'immersion solides, des ouvertures numériques variables et une lentille de projection d'objectifs intégrée. Cette combinaison de technologies permet à l'actif de produire une résolution plus élevée et des motifs plus fins par rapport à d'autres techniques de photorésistance. Le modèle est conçu pour être facile à utiliser et à utiliser, permettant aux clients de sélectionner des paramètres ou des recettes qui peuvent être changés rapidement pour ajuster le processus. L'équipement offre aux clients une certaine flexibilité qui peut être adaptée à leurs besoins spécifiques. Le système offre un meilleur contrôle de l'épaisseur du film, une enveloppe de courant de faisceau plus grande, et des performances de matériau de substrat améliorées. Ces fonctionnalités fournissent aux clients un meilleur débit et des résultats précis de calcul. La solution est idéale pour les fabricants de puces et autres applications de fabrication, comme les modules photovoltaïques organiques, les interconnexions haute densité, la microfluidique et les substrats avancés. L'unité peut être utilisée pour une variété de procédés, y compris l'implantation, le balisage, la gravure sèche et la gravure humide. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Isemblus est une machine de photorésistance puissante et polyvalente qui est conçue pour rationaliser et améliorer les processus de photolithographie. C'est une solution idéale pour les clients à la recherche d'un outil avancé avec un meilleur débit et de meilleurs rendements.
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