Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #293657242 à vendre en France
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ID: 293657242
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
(1) Coater / (1) Developer system, 8"
Dual block
Coater: (4) Nozzles
Developer: Stream nozzle
Wafer flow: Left to right (CSB Unit left side and interface station right side)
Tank auto switch
Block 1:
FC-9821Ke Controller
Stage / indexer: Cassette station
Cassette Station Arm (CSA)
Block 2:
Normal photo resist coater 2-1:
(4) Photoresist dispense nozzles per coat unit
(4) Photoresist dispense nozzles and Iwaki Resist pump per coater
Side rinse nozzle (Programmable)
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 est un système de photorésistance utilisé dans la lithographie de dispositifs semi-conducteurs. La photorésist est un matériau utilisé pour former un motif sur un substrat en laissant passer sélectivement la lumière. L'unité TEL MARK8 utilise un projecteur pour exposer la photorésist à la lumière ultraviolette et une chambre de procédé pour dissoudre les matières indésirables. TOKYO ELECTRON MARK-8 est une machine modulaire à deux parties : la tête d'exposition et la chambre de process. La tête d'exposition tient le projecteur, qui est équipé d'un outil optique avancé et sensible aux UV. Il est capable de délivrer de courtes impulsions de lumière UV avec une orientation précise et la taille du motif projeté. Le Process Chamber, l'autre composant de l'actif, est conçu pour dissoudre la résine photosensible après l'exposition. La chambre est chauffée et remplie d'une solution chimique servant de catalyseur pour la dissolution de la résine photosensible. Le modèle TEL/TOKYO ELECTRON MARK-8 peut également être ajusté pour traiter différents substrats à différentes températures, ce qui le rend idéal pour une utilisation dans une variété de procédés de fabrication de semi-conducteurs. L'équipement TEL Mark 8 est convivial et permet un contrôle précis du processus de fabrication. Il dispose d'un panneau de commande simple, permettant aux utilisateurs d'ajuster rapidement la taille, l'orientation et la force d'impulsion du motif projeté. En outre, il permet à l'utilisateur de répéter facilement le processus, ce qui permet de produire rapidement et avec précision de grands lots d'IC. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON MARK8 photoresist system est un outil fiable, puissant et précis pour le processus de lithographie. Ses contrôles simples et sa conception conviviale permettent aux utilisateurs de tracer rapidement et avec précision leurs substrats, ce qui en fait un atout inestimable pour toute installation de fabrication de semi-conducteurs.
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