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(1) Coater / (1) Developer system, 8" Dual block Coater: (4) Nozzles Developer: Stream nozzle Wafer
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Mark 8
(1) Coater / (2) Developer system Left to right AD (7) HP (3) COOL WEE 1996 vintage.
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Mark 8
(2) Coater / (2) Developer system, 8" 4 HP (4) CP (3) DHP (3) 2-1 RRC EBR Stepping (2) 2-2 RRC DEV
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Mark 8
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Mark 8
Coarter / (3) Developer system, 8" 6 HP (4) CP WEE (4) 2-1 RRC EBR Stepping E2 Komatsu THC C/B I/F
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Mark 8
(1) Coater / (1) Developers system, 4" (1) HMDS (5) HP (2) CP.
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TEL / TOKYO ELECTRON
Mark 8
(1) Coater / (2) Developer system, 8" ADH (8) HP (3) COL Inline Interface.
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