Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098390 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 (TM8) est un équipement de photorésistance conçu pour être utilisé dans le processus de lithographie. La photorésist est un type de polymère sensible à la lumière. Le TM8 utilise une source lumineuse pour exposer un motif sur un substrat puis déposer une couche de résine dans la zone souhaitée. Le TM8 est un système de modélisation automatisé qui utilise une conception avancée qui est capable de traitement automatisé avec précision et répétabilité d'un micron ou moins. L'unité utilise trois étapes - pré-exposition, exposition et post-exposition. L'étape de pré-exposition utilise une machine à mouvement d'étage pour déplacer la plaquette de la cassette à l'unité d'alignement à l'intérieur de l'outil. L'actif d'alignement utilise des lasers pour assurer un positionnement précis de la plaquette pour le processus d'exposition. L'étape d'exposition est chargée de projeter une source lumineuse sur le substrat. Le TM8 utilise des émetteurs de lumière UV de haute intensité pour modeler la plaquette avec des résultats à haut débit avec une précision d'alignement. La résine photosensible est appliquée avant le processus d'exposition, puis la lumière active le matériau résistant dans la zone désirée. L'étape de post-exposition comprend un modèle de cuisson qui est utilisé pour sécher la couche de résine photosensible. L'équipement de cuisson assure également la dureté de la couche. Ensuite, la résistance est enregistrée pour d'autres étapes du processus. Dans l'ensemble, TEL MARK8 est un système de photorésistance puissant conçu pour fournir des motifs puissants et précis pour les applications de photolithographie. Ses fonctionnalités automatisées fournissent un processus d'exposition rapide et fiable tout en fournissant des résultats reproductibles et précis. Le TM8 peut manipuler des plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre. Le TM8 est un outil rentable pour les fabricants de semi-conducteurs et les installations de fabrication de circuits intégrés.