Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098398 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 Photoresist Equipment est un système très avancé pour les applications de lithographie sans masque. Il utilise un nouveau concept d'utilisation d'un réseau de diodes électroluminescentes bidimensionnelles (LED) comme source principale d'éclairage et lentilles optiques pour focaliser avec précision l'éclairage LED. Il est capable de traiter des tailles de fonctionnalités allant de quelques microns à plusieurs millimètres et peut facilement atteindre la précision d'enregistrement nanométrique. Il est également capable de travailler avec une variété de matériaux photorésistants, y compris des résistances optiques et de faisceau d'électrons, ainsi que la gravure sèche et la métallisation. L'unité est composée de plusieurs composants, dont un ensemble de tête optique qui contient une source lumineuse et une cavité de lentille, un module de collimation LED, un module de projection d'image numérique, et une machine d'alignement pour positionner avec précision l'optique et le substrat d'imagerie sur l'outil. Le réseau LED fournit l'éclairage nécessaire pour modeler les motifs dans un matériau de résistance et est capable de fournir un niveau de linéarité sans précédent en intensité lumineuse avec une large gamme de longueurs d'onde de fonctionnement. Le module de collimation LED dispose d'une vanne à actionnement électronique, qui permet une commutation précise entre l'éclairage direct et la lumière diffusée, permettant une couverture et une latitude d'exposition plus fines. Avec l'utilisation d'un capteur spécial et d'un logiciel d'imagerie, il est possible d'aligner avec précision le réseau LED et le substrat pour une précision d'alignement supérieure à un nanomètre. Le module de projection d'image numérique est utilisé pour contrôler l'intensité de l'image, à travers un certain nombre de réglages, tels que la modulation de largeur d'impulsion ainsi que la résolution spatiale de l'image. Ce module peut également être utilisé pour agrandir ou réduire la zone d'imagerie, tout en préservant la qualité globale de l'image. L'actif dispose également d'un modèle d'alignement pour aligner avec précision le substrat d'imagerie et le réseau LED, permettant un alignement de haute précision avec une précision d'enregistrement d'un nanomètre maximum. L'équipement d'alignement utilise également une variété de sondes et de détecteurs pour mesurer la position du substrat d'imagerie et du réseau LED dans la direction x-y-z et est capable de caractériser avec précision la distorsion du motif de résistance. Dans l'ensemble, TEL MARK8 est un système très avancé pour les applications de lithographie sans masque qui dispose d'une unité de collimation LED unique et d'un module de projection d'image numérique pour une plus grande densité de caractéristiques et un contrôle des bords, avec une précision d'exposition extrêmement élevée allant jusqu'à un nanomètre. Il est parfait pour les applications nanotechnologiques nécessitant des niveaux élevés de précision et de précision dans la création de motifs et de structures exacts.