Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098400 à vendre en France
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ID: 9098400
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1994
(1) Coater / (2) Developers System, 8", 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 est un équipement de photorésistance qui est utilisé pour permettre la création de motifs de circuits sur un substrat semi-conducteur. Il utilise à la fois la photolithographie et les techniques de gravure, permettant la création de lignes métalliques structurées dans le substrat. Le système photorésist utilise un photomasque avec le motif désiré, qui est ensuite introduit dans l'unité. Tout d'abord, le substrat est revêtu d'une résine photosensible par un procédé de spin. Le substrat est ensuite exposé à la lumière UV à travers le photomasque. Au cours de ce processus, la lumière interagira avec le matériau photorésistant, changeant ses propriétés. Après l'exposition, le substrat est rincé dans un solvant pour soit éliminer le matériau photorésistant non exposé, soit quitter la partie exposée. La partie exposée de la résine photosensible doit rester, agissant comme un « pochoir » pour la gravure. Le procédé de gravure est alors utilisé pour éliminer le matériau du substrat dans la zone où reste la résine photosensible exposée. Ceci crée le motif désiré des lignes métalliques. On ajoute alors un dépôt diélectrique pré-métallique qui est une couche de matériau isolant sur les lignes métalliques. Ceci augmente la fiabilité du dispositif et assure une connexion électrique entre la partie gravure et le substrat. Enfin, la résine photosensible exposée doit être retirée avant que la plaquette puisse être testée. Ceci est généralement accompli en ashing ou en plongeant dans une solution de développeur. TEL MARK8 apporte une variété d'avantages au processus de création de lignes métalliques sur un substrat. Il élimine la nécessité d'étapes multiples pour séparer les régions exposées des régions non exposées du substrat, ce qui rend l'ensemble du processus plus efficace et plus économique. Il dispose également d'un contrôle précis des dimensions des lignes de circulation, assurant des performances fiables du dispositif. En résumé, TOKYO ELECTRON MARK-8 photoresist machine est un outil efficace pour créer des motifs complexes de lignes métalliques dans un substrat. Ses processus automatisés et son contrôle précis garantissent des performances fiables, ce qui en fait un outil inestimable pour les entreprises du monde de l'électronique.
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