Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9098643 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9098643
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
(1) Coater / (2) Developers System, 8", 1996 vintage.
TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 est un équipement de photorésistance conçu pour les procédés lithographiques. TEL MARK8 est un système de lithographie utilisé en microfabrication et en microélectronique pour la création de dispositifs semi-conducteurs. L'unité se compose d'une machine d'alignement de masque, d'un étage de plaquette, d'un outil de photorésistance et d'un outil optique. L'actif d'alignement du masque se compose de deux composantes principales : une unité de commande de mouvement de l'étage qui commande le mouvement de l'étage et une unité d'alignement de la plaquette. L'unité d'alignement de la plaquette est utilisée pour capturer et aligner la plaquette sur le masque. De plus, un alignement bidimensionnel est réalisé à l'aide d'un modèle de codeur. Ceci permet d'assurer un alignement précis et précis de la plaquette. L'étage de plaquette assure le transfert physique de la plaquette sur le masque. L'étage est équipé de mécanismes de commande de mouvement tels qu'un actionneur linéaire à faible inertie, des traversées d'air et des systèmes codeurs triphasés. Ces mécanismes permettent le déplacement précis et précis de l'étage de plaquette. L'équipement Photoresist est utilisé pour revêtir les plaquettes d'un film photosensible. TOKYO ELECTRON MARK-8 est équipé d'une unité d'alimentation chimique, d'une unité de distribution de vide, d'une unité de contrôle de gaz et d'une unité de chauffage. L'unité d'alimentation chimique est utilisée pour remplir et remplir le réservoir de produits chimiques pour le revêtement de la plaquette. L'unité de distribution de vide est utilisée pour créer un vide sur la plaquette afin que la résine photosensible puisse être appliquée uniformément sur la plaquette. L'unité de contrôle du gaz est utilisée pour assurer un environnement sûr et exempt de contamination. L'unité de chauffage est utilisée pour maintenir le produit chimique à une température régulée. L'outil optique TEL MARK-8 est utilisé pour exposer la plaquette à la lumière. L'outil est équipé d'optique d'éclairage et d'optique d'imagerie. L'optique d'éclairage permet le passage de la lumière à travers le masque et sa projection sur la plaquette. L'optique d'imagerie permet l'imagerie de la plaquette pour aider au processus d'alignement. TOKYO ELECTRON MARK8 est équipé d'une gamme de technologies de pointe pour garantir la précision et la précision du processus lithographique. L'alignement précis de l'étage du dispositif et le contrôle précis de l'unité d'alimentation chimique assurent le dépôt uniforme et fiable de résine photosensible sur les plaquettes. Le système d'alignement des masques et l'optique d'imagerie fournissent une imagerie précise et de qualité. La combinaison de ces caractéristiques fournit à Mark 8 les outils nécessaires pour créer certains des dispositifs semi-conducteurs les plus avancés.
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