Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9109448 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8
ID: 9109448
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
(2) Coaters / (2) Developers System, 8" 8HP/6CP/2AD/1WDS/1WEE 2-1 RRC x2 2-2 RRC x2 E2 THC M/A x2 I/F Canon 2500i3 9801F LtR 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour fournir des mesures de haute précision avec une contrôlabilité précise sur le processus d'exposition. Ce système permet le revêtement de couches minces de film sur une plaquette semi-conductrice pour des applications de traitement de plaquettes, y compris la lithographie et la gravure. L'unité comprend un pas puissant, un automate, une machine d'imagerie optique et un étage motorisé. Le stepper, le cœur de l'outil, est équipé d'un grand angle et d'une lentille à angle étroit pour fournir les angles d'éclairage requis pour le traitement de la photorésistance. Le pas comporte également un étage et un détecteur de plaquettes motorisés qui permettent un alignement précis de la plaquette par rapport à l'actif optique, permettant ainsi une précision dans une fraction de micron. Le stepper comporte également un mécanisme d'alignement qui assure les réglages 3 axes nécessaires pour une performance d'imagerie optimale. L'automate, qui est connecté à l'étape, fournit tous les paramètres de contrôle nécessaires tels que la position de la plaquette, la taille du pas, la dose d'exposition et le temps d'exposition. Avec ces paramètres, l'opérateur peut contrôler efficacement la procédure d'exposition pour s'assurer que la taille optimale de l'image est atteinte. Le modèle d'imagerie optique TEL MARK8 comprend un équipement d'imagerie DMD (Direct Mask Data) avec un grand champ de vision éclairé, permettant l'alignement rapide et précis de l'optique de projection. Ce système peut être adapté pour tenir compte des diverses expositions nécessaires à une application de lithographie individuelle. Enfin, l'étage motorisé permet de déplacer l'ensemble vers la position suivante de la plaquette sans avoir à réinitialiser manuellement le dispositif. La photorésistance TOKYO ELECTRON MARK-8 combine une grande précision et une maniabilité précise, ce qui en fait un choix exceptionnel pour les applications de traitement des plaquettes. Avec cette combinaison, il permet aux fabricants de créer rapidement et avec précision des plaquettes avec des images haute résolution. Ceci, à son tour, peut améliorer considérablement la productivité du processus de fabrication des plaquettes.
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