Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9115313 à vendre en France
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ID: 9115313
Taille de la plaquette: 4"
(1) Coater / (1) Developers system, 4"
(1) HMDS
(5) HP
(2) CP.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 est un équipement de photorésistance utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour le traitement photolithographique de plaquettes. Le système est capable de manipuler des substrats allant de 200mm à 450mm, et est bien adapté aux processus à base de masque et d'écriture directe. L'unité comprend une machine de nettoyage équipée qui peut être utilisée pour nettoyer et rincer les substrats avant le traitement. Il dispose d'une unité d'entrée/sortie de substrat intégrée qui le rend très efficace et facile à utiliser. Il existe plusieurs types de photorésist utilisés avec l'outil, y compris positif, négatif et positif/négatif. TEL MARK8 utilise un pas pour déplacer précisément le substrat à l'emplacement souhaité, ainsi qu'un étage de plaquette qui est capable de tourner, de monter et de descendre, et de zoomer de base dans toutes les directions. Il est également équipé d'un atout de livraison de gaz à huit zones qui permet un meilleur contrôle des paramètres du processus, ce qui est particulièrement utile lors du traitement des couches minces. Le modèle comporte une source de rayonnement intégrée qui se compose d'un laser excimère, d'une source d'ions et d'une source de faisceau d'électrons à balayage. Il comporte également un module de traitement sous vide qui permet des procédés tels que l'évaporation, la pulvérisation et le dépôt de pulvérisateurs. TOKYO ELECTRON MARK-8 convient bien pour des applications telles que la formation d'interconnexions à haute densité, la formation de motifs à microns et la lithographie à trous traversants. En outre, il est capable de créer des systèmes de film avancés tels que des couches de passivation, des couches d'isolations et des photomasques. Il dispose d'une plate-forme riche en fonctionnalités qui permet aux utilisateurs d'effectuer tous les types de fabrication et de traitement exigences. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Mark 8 est un équipement de photorésistance très fiable et avancé qui est capable de manipuler une grande variété de substrats et de photorésists, ainsi que d'offrir une large gamme de fonctionnalités et de capacités. C'est un système très populaire dans l'industrie des semi-conducteurs pour sa polyvalence et sa facilité d'utilisation, et il est capable de réaliser une variété de processus photolithographiques avec précision et rapidité.
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