Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9142711 à vendre en France
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ID: 9142711
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
Coater, 8"
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON L'équipement de photorésistance Mark 8 est un système photolithographique de pointe conçu pour des procédés sophistiqués de fabrication de plaquettes. Il garantit le plus haut niveau de qualité et de fiabilité des produits. Il est capable de traiter des structures optiques, thermiques et d'autres structures complexes à l'échelle nanométrique sur une grande variété de substrats. TEL MARK8 supporte à la fois e-beam et i-Line, permettant aux clients d'exécuter des processus de R-D et de production sur une seule plate-forme. TOKYO ELECTRON MARK-8 est équipé d'une source de plasma à couplage inductif (PIC) de 13,56 MHz et dispose d'une technologie de pointe de plasma à couplage capacitif (PCC) pour réduire l'érosion du plasma et améliorer la sélectivité des gravures. Il est également équipé d'un régulateur de température multi-zones avancé, qui assure une homogénéité et un contrôle de profil précisément contrôlés sur chaque substrat. De plus, la machine de commande avancée du faisceau assure l'uniformité de l'exposition. La conception optimisée de l'unité d'efficacité finale (EEU) et les systèmes de vision avancés permettent les tolérances les plus serrées et la résolution la plus élevée dans le plus petit espace. L'outil a une taille compacte et une faible empreinte, ce qui est idéal pour les laboratoires et autres petits environnements de production où l'espace est limité. En outre, l'actif est équipé des dernières technologies d'automatisation, telles que la manipulation robotique, et peut être facilement intégré dans une grande variété d'environnements de salle blanche, de liaison à chaud et de transfert. TOKYO ELECTRON MARK8 offre le plus haut niveau de productivité et de précision au niveau du nanomètre. C'est un outil idéal pour les laboratoires et les installations de recherche, offrant des performances et une flexibilité sans précédent. Le modèle est conçu pour offrir un maximum de productivité et de fiabilité, permettant aux clients d'atteindre leurs objectifs avec un minimum de temps d'arrêt.
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