Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9155226 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 est un équipement de photorésistance conçu pour les procédés de photolithographie et de fabrication de semi-conducteurs. Il utilise une technologie de pointe pour exposer avec précision les matériaux photosensibles à la lumière afin de créer des motifs et d'autres images sur les plaquettes semi-conductrices. Le système a été largement utilisé dans la fabrication de circuits intégrés et d'autres composants et dispositifs microélectroniques. TEL MARK8 utilise une unité intégrée de source laser numérique (DLSU) pour produire une gamme de longueurs d'onde de lumière laser, y compris celles dans la gamme des ultraviolets profonds (UV). L'énergie d'exposition aux ultraviolets peut être réglée par incréments de microjoules, ce qui permet une excellente résolution du processus d'imagerie. Le champ de vision variable (VFoV) du laser permet une large gamme de dimensions de champ d'exposition, allant de quelques millimètres à 8 pouces (200 mm), permettant une flexibilité et une précision accrues dans le processus de lithographie. La machine comporte également un mécanisme d'étage, qui peut déplacer la plaquette dans trois directions d'axe (X, Y et Z). En combinaison avec l'unité source laser, cela permet une exposition précise et précise des matériaux photosensibles sur le côté arrière de la plaquette, ainsi que sur son côté avant. L'étage a également une très faible dérive thermique pour des performances supérieures de mise à jour et la répétabilité de la plaquette à la plaquette. TOKYO ELECTRON MARK-8 est également équipé d'une serrure de charge entièrement automatisée (FALL), qui permet un transfert rapide, facile et sûr de plusieurs plaquettes de la chambre principale à la chambre de procédé. L'outil FALL abrite jusqu'à vingt (20) plaquettes, tandis qu'un chargeur de plaquettes semi-automatisé est disponible pour augmenter le nombre à cinquante (50). Les options de traitement pour TEL MARK-8 sont des paramètres pilotés soit par un bouton manuel, soit par un ordinateur, permettant un contrôle précis des paramètres de traitement. L'actif offre également d'autres options de processus, y compris des méthodes de drainage avancées, des fonctions de détection de défauts et des diagnostics de modèle. Enfin, l'équipement peut être personnalisé pour répondre aux besoins spécifiques des clients, tels que des paramètres de processus supplémentaires, du matériel et des logiciels spécialisés, et d'autres fonctionnalités supplémentaires. Mark 8 est un système polyvalent et de haute précision qui offre une excellente précision, répétabilité et fiabilité pour des expositions précises de matériaux photosensibles. En optimisant ces paramètres d'exposition, l'unité est idéale pour une variété de procédés de fabrication d'IC et de dispositifs microélectroniques.