Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9190379 à vendre en France
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Vendu
ID: 9190379
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1997
(3) Coaters / (2) Developers system, 8"
Flow: Right to left
Dual block
Type: Standard
System:
AC Cable length: 10 m
Signal cable length: 8 m
Tubing length: 8 m
EMO Signal logic: Normal close
Signal tower: (3) Colors (Red, green, yellow)
Coater:
Filter (Resist, solvent) status: ENTEGRIS
Pump type/status: 2-1 Coater R1, R2
Drain pipe connector type (PR Line): 1" (SUS)
Developer:
Developer dispense piping/tubing status:
3-2: 1/4" (Stream)
3-3: 1/4" (Spray)
DI Water dispense piping/tubing status: 3-2, 3-3: 1/4" (Stream)
Filter(DI,DEV) status: ENTEGRIS
Drain pipe connector type: PVC(¢ 32 x 25)
In-line with stepper/Scanner type: NSR
Thermo controller type: SMC (INR-244-112B)
Chemical box:
Solvent supply: Local
Developer supply: Local
EXH supply:
GEN
(12) SOL
Facility:
Power supply: AC 100/200 V, 60/75 A, 50/60 Hz, 1 Phase
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 est un équipement avancé de traitement de la résine photosensible développé par TEL. Il est conçu pour fournir un contrôle efficace et précis tout au long des processus de photolithographie dans l'industrie de la microélectronique. TEL MARK8 offre des mécanismes automatisés de transfert de plaquettes, des fonctions d'exposition et de développement de haute qualité, ainsi qu'un large choix de processus post-exposition. Le système de chargement semi-automatique avancé TOKYO ELECTRON MARK-8 permet un changement rapide et précis des lentilles et dispose de la capacité de compléter la précision pendant l'exposition. Son unité de chargement avancée de plaquettes dispose d'une géométrie spécifique de plaquettes et permet une couverture maximale de puce ainsi qu'un profil bas-virage lors du chargement et du déchargement. La machine d'exposition de pointe de MARK8 fournit une précision clé pour les processus de photolithographie. Grâce à des systèmes pas à pas LSI de haute précision et de haute précision, l'outil est capable d'exposer des motifs qui nécessitent des résolutions submicroniques avec un laser haute performance sur photorésist. Cela permet d'exposer des motifs précis sur des plaquettes. Dans l'ensemble, l'actif d'exposition de TEL Mark 8 est très efficace et permet plus de débit de production et moins de temps d'arrêt. TEL MARK-8 propose également un modèle avancé de traitement post-exposition, qui comprend des procédés d'utilisation discontinue, tels que la gravure, la cuisson, le cendrage et la confirmation. L'équipement est capable d'automatiser un large éventail de processus post-exposition, permettant une utilisation répétée et un réglage fin pour une gamme de besoins des clients. Cela permet en fin de compte une meilleure qualité et des résultats précis avec des temps de cycle plus courts. MARK-8 est conçu pour fournir une répétabilité maximale tout en assurant un haut degré de précision. Les fonctions clés du système, y compris les traitements d'exposition et de post-exposition, sont conçues pour fonctionner en harmonie, fournissant les meilleurs résultats possibles sans sacrifier la sécurité. Globalement, Mark 8 est une unité de traitement de résines photosensibles très avancée et efficace. Il offre des expositions rapides et précises, des capacités de transfert automatisé des plaquettes et une machine de traitement post-exposition, permettant des résultats de haute qualité avec moins de temps de cycle. Cela en fait un excellent choix pour la microélectronique et la fabrication de semi-conducteurs.
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