Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9216917 à vendre en France
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TEL (TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8) est un système de photorésistance avancé qui offre l'utilité la plus récente en photolithographie. Grâce à sa capacité configurable de correction en front d'onde, ce système est capable de réaliser des motifs très précis sur une plaquette semi-conductrice. Le fonctionnement automatisé facilite le recouvrement aligné, les tests d'intégrité de recouvrement et l'autofocus. TEL MARK8 fournit également un soutien pour la génération de motifs assistés par pas, avec la capacité de peaufiner le réseau de sous-résolution, qui sont extrêmement utiles pour le micro-traitement dans l'industrie des semi-conducteurs. TOKYO ELECTRON MARK-8 est équipé de deux illuminateurs, l'illuminateur principal et le mode OPT. L'illuminateur principal permet une grande variété de sources d'éclairage à base de quartz, quartz-halogène, diffus et laser pour les résistances à haute résolution. Le mode OPT dispose d'un ensemble spécialisé de sources d'éclairage, fournissant une lumière d'image dans toute la plaquette avec plus d'efficacité et d'uniformité que l'illuminateur principal. TEL Mark 8 offre une variété d'options pour le développement et le transfert de motifs photorésistants. Avec son kit d'imagerie précise, les motifs peuvent être développés directement dans la couche de photorésist, éliminant ainsi la nécessité d'une étape de pré-placage. De plus, la photorésist positive ou négative peut être transférée de la couche principale de résine vers le substrat sous-jacent avec le kit de transfert de substrat. TEL MARK-8 offre une gamme de fonctionnalités pour faciliter l'optimisation des processus. Des exemples de capacités d'optimisation comprennent le temps d'exposition optimisé, la dose d'exposition variable et le contrôle précis du rayon d'exposition. Le système offre également des recettes de procédé librement définissables pour l'élimination des particules, le nettoyage des plaquettes semi-conductrices et le spin-coating. TEL/TOKYO ELECTRON MARK8 laisse aux utilisateurs les images de haute qualité nécessaires à la production de semi-conducteurs au XXIe siècle. Non seulement il peaufine optiquement son image lors de la photolithographie, mais il offre également aux utilisateurs la souplesse nécessaire pour s'adapter aux tendances de l'industrie en constante évolution. Ses capacités automatisées comprennent la correction du chevauchement des images, le contrôle du chevauchement et l'optimisation des processus photorésistants. De plus, les sources d'éclairage réglables de MARK8 et les techniques de transmission de données d'image permettent aux utilisateurs de produire des images de précision avec un débit exceptionnel.
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