Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9237369 à vendre en France
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Vendu
ID: 9237369
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1999
(2) Coater system, 8"
Main controller version: 9821KE
CSB: (3) Loaders
COT (Coat process station):
3 Nozzles
(2) RRC Pumps
Solvent automatic supply: (2) Tank auto supplies, CCSS
Side rinse (EBR)
Back side rinse (BSR)
Dev solution automatic supply: Local
(6) LHP (Low temperature hot plate stations)
Chemical box
Temperature controller
T&H
C/S:
CRA Motor
Mapping sensor
Tweezer
Alarm tower
Display panel
Coater:
Chuck
ARM 1
ARM 2
COT Cup
Nozzle
Drain type: Factory direct drain
Coater:
Chuck
ARM 1
ARM 2
DEV Cup
Nozzle
Drain type: Factory direct drain
PRA:
Pincette
Sensor
Bake:
(6) HP Units
(4) Cool units
1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 est un équipement photorésistant commandé par ordinateur conçu pour appliquer une couche de matériau uniforme sur la surface d'une plaquette de silicium. Ce système est composé d'une unité d'irradiation laser, d'une tête optique, d'un étage d'échantillonnage et d'une machine pilotée par ordinateur. L'outil d'irradiation laser comprend une diode laser de pompe et une cavité laser de pompe. Lorsqu'un signal optique est appliqué à la diode, le laser émet un faisceau étroit de lumière infrarouge qui est ensuite acheminé dans la cavité laser qui amplifie encore le signal à de nombreuses fois sa puissance d'origine. Le signal amplifié est alors redirigé hors de la cavité et dans la tête optique. La tête optique comporte plusieurs lentilles optiques et un séparateur de faisceau qui détermine la forme et la taille du faisceau de sortie. L'étage d'échantillonnage est utilisé pour tenir la plaquette et est relié à un actif commandé par ordinateur qui coordonne le mouvement précis de l'étage et du laser. Le modèle piloté par ordinateur peut faire varier l'exposition du laser, en fonction des propriétés du matériau photorésistant utilisé. Cet équipement peut également modifier la taille et la forme du faisceau pour assurer une exposition exigeante de la résine photosensible. Après exposition, la résine photosensible est retirée de la plaquette et la plaquette est prête pour un traitement ultérieur. TEL MARK8 est un système de photorésistance à commande informatique très avancé qui est capable de produire des couches précises et uniformes sur des plaquettes de silicium. Cette unité est utilisée dans le processus de fabrication des plaquettes afin de construire des circuits et des composants complexes utilisés dans de nombreuses industries différentes. Sa précision en fait un outil idéal pour de nombreux types d'applications.
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