Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 #9280945 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Mark 8 est un équipement de photorésistance utilisé dans le processus lithographique. L'ensemble est destiné à appliquer une résine photosensible, dite photorésist, sur un substrat tel qu'une plaquette de silicium servant à créer des circuits semi-conducteurs. Le système de photorésistance TEL MARK8 utilise une unité automatisée de précision contrôlée par ordinateur pour appliquer une couche de photorésist uniforme sur la plaquette. La machine est équipée d'un moteur pas à pas de grande précision qui positionne précisément le substrat en mouvement circulaire. Le mouvement précis évite le chevauchement de la résine photosensible et assure des résultats d'épaisseur cohérents à travers le substrat. La résine photosensible est appliquée avec une tête de pulvérisation. La pression du moteur pas à pas pousse un volume de photorésist à basse pression à travers la buse, formant des gouttelettes régulièrement réparties sur le substrat. Un outil de nettoyage automatisé intégré réduit l'accumulation de la résine photosensible sur la buse entre les utilisations, évitant ainsi la contamination. La couche de résine photosensible déposée est exposée à un masque UV spécialement conçu pour créer les circuits semi-conducteurs désirés. L'exposition provoque une réaction chimique dans la résine photosensible exposée, modifiant les niveaux de solubilité dans la couche d'origine. La couche est ensuite mise au four post-exposition (PEB). Avec la chaleur de cette étape, la résine photosensible exposée restante à haute solubilité se dissout dans une solution spéciale de révélateur, laissant derrière elle un motif durci formé par la résine photosensible non exposée. TOKYO ELECTRON MARK-8 est capable de produire des résultats extrêmement précis, et est capable de créer des caractéristiques complexes aussi petites que 50 nanomètres de taille, le rendant adapté à une utilisation dans la fabrication de dispositifs. Le matériel de nettoyage automatisé réduit l'entretien de l'opérateur, ce qui donne un produit plus cohérent. MARK-8 modèle photorésist est un outil inestimable dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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