Occasion ADE / KLA / TENCOR 9800 UltraScan #9046074 à vendre en France
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Vendu
ID: 9046074
Wafer characterization system, 8"
ULTRASCAN 9800 Flat top standard base system:
Wafer Size 6" and 8"
High Accuracy Noncontact Prealigner
E-Squared Advanced/Thickness, B/W Station
May accommodate up to 5 cassettes
Auto A Probe included
Advanced System Controller 2000 and Accessories: UPS (uninterruptible power supply)
System Software and Operating System: SCO 5.0 UNIX System
Included:
Part No. 9300-DEET
Robot Dual End Effector Teflon Coated - 135°
Part No. 7800-150-ASC2K
Standard ASC Software for ASC2000
Part No. 7800-180
15" ViewSonic Flat Panel Monitor
(2) Part No. 9300-36ND
Send "Universal" cassette station
(3) Part No. 9300-37ND
Receive "Universal" cassette station
Part No. 7800-6HZ
System configured for 60 HZ
Part No. 7820-220
Line Conditioner and Transformer, 4.8 kVA
Input Voltage: 220 V 50/60 HZ
Input: 9 Foot Linecord with L14-30P Plug
Output: (1) L14-30R Receptacle
Part No. 025106-01
Topside Non-contact type
N or P type wafers
Resistivity 0.1 to 200 ohm-cm
Part No. 444001 ReportTools
Part No. 9300-57EMI
High Range EMI, High-Accuracy
Resistivity Station
(0.200 - 199.9 ohm/cm)
Robot error when attempting to run calibration
Currently installed
2004 vintage.
ADE/KLA/TENCOR 9800 UltraScan est un équipement d'inspection et de métrologie des plaquettes de bureau qui effectue une variété de tests pour évaluer la qualité et les caractéristiques des plaquettes à semi-conducteurs. Le système offre des capacités d'analyse et de métrologie de haute précision pour déterminer les caractéristiques structurelles des plaquettes. Divers essais peuvent être effectués, y compris l'analyse des contaminants et des défauts, la caractérisation des formes et des tailles, la mesure des propriétés électriques et l'analyse des données statistiques sur le contrôle des processus afin de réduire la variabilité des rendements et les délais de fabrication. ADE 9800 UltraScan dispose d'une variété de fonctionnalités qui lui permettent d'inspecter rapidement et avec précision les plaquettes semi-conductrices. Il est équipé d'une unité de manutention automatisée des plaquettes pour assurer des capacités d'échange rapide des échantillons. Il dispose également de l'imagerie avancée et de l'optique pour voir la surface de la plaquette en détail. En outre, la machine est optimisée pour supporter une gamme d'applications avec une variété de techniques d'analyse, y compris la microscopie électronique à balayage et l'imagerie de microscopie confocale. La machine est également équipée d'une variété de fonctionnalités pour faciliter l'inspection des plaquettes. Il a des capacités analytiques pour identifier les contaminants et les défauts sur les plaquettes et valider la qualité de la finition de surface. Il a également des capacités détaillées d'inspection et de métrologie pour mesurer les charges critiques de formes et de tailles de plaquettes, comme le pas, le profil de bord et le rayon. De plus, KLA 9800 UltraScan dispose d'une puissante suite de contrôle statistique des processus (RCP) pour générer des graphiques RCP et des graphiques de contrôle pour surveiller les rendements de production et identifier les irrégularités de fabrication. La machine dispose également de capacités de réseau avancées pour la télécommande et le partage de données. Il dispose de ports Ethernet pour connecter les contrôleurs à un réseau local ou étendu, ainsi que d'interfaces de programmation d'applications pour s'intégrer à d'autres systèmes. Cela permet de déployer 9800 UltraScan dans des systèmes d'automatisation et de gestion de données en usine. Dans l'ensemble, TENCOR 9800 UltraScan est une puissante machine de test et de métrologie des plaquettes de haute précision. Il offre une variété de fonctionnalités, y compris l'imagerie avancée et l'optique, la manipulation automatisée des plaquettes, les capacités d'analyse, les capacités détaillées d'inspection et de métrologie, et une puissante suite RCP. En outre, il dispose de capacités de réseautage avancées pour la télécommande et le partage de données. Cela en fait un choix idéal pour évaluer les plaquettes semi-conductrices et contrôler les rendements de production.
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