Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9285089 à vendre en France

KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement de test de plaquettes et de métrologie conçu pour fournir des mesures de haute précision lors de la fabrication de puces semi-conductrices. Le système est composé de plusieurs parties, chacune conçue pour assurer une fonction spécifique de l'ensemble. La partie centrale de la machine est le sous-système « Infrastructure ». Cela comprend l'outil d'acquisition de données, l'électronique de balayage et les étapes de pré-alignement. L'actif Acquisition de données est responsable de la collecte des données des sondes de détection. L'électronique de balayage génère les motifs de balayage et contrôle le mouvement de l'étage de la plaquette pour déplacer la plaquette à travers la surface. Enfin, les étapes de pré-alignement assurent que les sondes sont placées sur les caractéristiques d'intérêt sur la plaquette avant le début des mesures. Le sous-système Wafer Stage est chargé de déplacer la plaquette autour des sondes pré-alignées et d'acquérir les données. Il a une conception d'actionneur 3 axes qui fournit un positionnement de haute précision de la plaquette. Les systèmes d'actionnement sont conçus pour assurer un positionnement constant des sondes par rapport aux caractéristiques d'intérêt. Le sous-système Traitement d'images est chargé d'analyser les données collectées par les sondes. Il fournit des capacités de traitement de données en temps réel, ainsi que des algorithmes avancés de traitement d'image pour détecter avec précision les défauts et les caractéristiques d'intérêt. Le modèle comprend également plusieurs filtres de post-traitement pour s'assurer que les données sont exemptes de bruit et d'artefacts. Le sous-système Analyse et Reporting permet le traitement en temps réel des images. Il comprend des algorithmes pour détecter des motifs topographiques, des mesures de rugosité et d'autres paramètres. Le sous-système Analyse et déclaration peut également fournir une analyse statistique des données, ainsi que générer des documents de rapport. KLA 6220 Surfscan est un équipement révolutionnaire conçu pour fournir une large gamme de capacités de test de plaquettes et de métrologie. En fournissant une solution complète aux essais et à la métrologie des plaquettes semi-conductrices, le système augmente la précision et l'efficacité du processus de fabrication. L'unité est également conçue pour maximiser le temps de disponibilité et le débit des processus de test des plaquettes.