Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #9299889 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan est un équipement de test et de métrologie avancé. Il est capable d'effectuer des inspections visuelles couche par couche non destructives de plaquettes de 6 à 12 pouces de diamètre. Ce système est équipé d'une suite complète de fonctions paramétriques, de superposition et d'analyse de localisation des défauts (DLA). L'appareil peut mesurer avec une précision nanométrique, ce qui le rend adapté aux applications les plus exigeantes dans la fabrication de semi-conducteurs. KLA 6200 Surfscan utilise une optique avancée conçue pour collecter des images haute résolution de toute la surface de la plaquette. Une machine de profilage laser automatique permet une analyse de surface en trois dimensions précise. L'outil dispose également d'un outil automatisé de détection des défauts utilisant la section transversale du faisceau d'électrons (EBCS) pour détecter les particules et les défauts de sous-microns. Pour garantir une répétabilité et une précision adéquates, TENCOR 6200 Surfscan est équipé d'un modèle d'étalonnage automatisé utilisant des standards et des plaquettes de référence. Il comprend également des tests de linéarité et de méga-point de pointe de l'industrie pour des mesures de métrologie à haute résolution. Cet équipement est conçu pour être étroitement intégré aux systèmes de gestion des plaquettes in-fab, permettant la communication entre le Surfscan et d'autres systèmes de la fab. 6200 Surfscan maximise la disponibilité et l'efficacité du système avec des outils avancés pour réduire le temps de cycle global. Il comprend une interface utilisateur intuitive avec des menus sensibles au contexte, ainsi que des outils complets d'examen et d'analyse des données pour une rétroaction rapide sur les performances de détection des défauts. L'unité dispose également de développement automatisé de recettes et d'outils avancés de gestion des recettes. PROMETRIX 6200 Surfscan est une machine de test et de métrologie de plaquettes significativement avancée. Il combine une optique de pointe avec des capteurs automatisés et des capacités d'étalonnage pour offrir une résolution de sous-microns et une répétabilité et une précision améliorées pour l'analyse critique de la surface des plaquettes. L'interface utilisateur innovante et les outils de gestion des données font de cet outil un choix de choix pour les fabricants qui nécessitent une analyse rapide et précise des plaquettes.