Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #192508 à vendre en France

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes spécialement conçu pour le contrôle de la qualité et la détection des défauts dans l'industrie des semi-conducteurs. Il utilise plusieurs technologies pour mesurer la topographie de la surface de la plaquette, y compris l'interférométrie optique, la scatterométrie laser et la diffraction par rétrodiffusion électronique. KLA 6200 Surfscan dispose d'une étape d'échantillonnage qui mesure, positionne et numérise avec précision la plaquette au besoin pour la collecte et l'analyse des données. Cela peut être fait en utilisant un gestionnaire de plaquettes automatisé si nécessaire. TENCOR 6200 La technologie d'interférométrie optique de Surfscan utilise un diagramme d'interférence généré par une lumière cohérente pour générer une carte topographique 3D de la surface de la plaquette. Le système utilise ensuite ces données pour mesurer un certain nombre de paramètres de surface tels que la planéité, la hauteur du pas, le hillocator et la rugosité. La technologie de scatterométrie laser fonctionne en fonction de l'interaction entre la lumière et une surface. Les mesures sont effectuées en fonction de la relation entre l'intensité de la lumière diffusée et les caractéristiques de surface rugueuse de la plaquette. La diffraction par rétrodiffusion d'électrons (EBSD) est utilisée pour déterminer la microstructure de l'échantillon en diffusant des électrons hors du réseau du matériau. PROMETRIX 6200 Surfscan est capable de manipuler une grande variété de matériaux et de tailles de plaquettes, y compris des plaquettes de 300 mm et 200 mm. L'unité dispose également d'un certain nombre de fonctionnalités facultatives, y compris un scanner à faisceau réglable, pour l'optimisation de la résolution d'interférométrie optique, et des logiciels pour l'analyse et la génération de rapports de wafer. La machine a également un certain nombre de caractéristiques de sécurité, telles que la détection de collision, une clôture de sécurité réglable pour protéger l'échantillon, et un obturateur laser pour surveiller les niveaux de lumière. 6200 Surfscan est un outil puissant pour le contrôle de la qualité et la détection des défauts pour les applications de pointe de semi-conducteurs. Il offre des résultats rapides, précis et fiables, aidant les fabricants à garantir les produits de la plus haute qualité.